parylene的发展史

parylene的历史要追溯到1947年，Parylene(中文称:派瑞林、聚对二甲苯，或派瑞林堤对一系列独  特的高聚物的一个通常的称呼。这个家庭中基本的成员称作Parylene,即聚对二甲苯，是一种完全线性的高度结晶结构的材料

美国化学家Michael Szwarc首  次在实验室合成了parylene薄膜，18年后的1965年科学家William F. Gorham发明了化学气相沉积合成parylene膜的方法，并通过商业化parylene沉积设备使parylene膜获得了实用价值，从此Parylene开始蓬勃发展起来。

Parylene的原理是用独  特的真空气相沉积工艺（CVD技术）制备，由活性小分子在基材表面"生长"出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，号称"无孔不入"可深入裂缝里和内表面。

这种真空状态下室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，甚至被业内称为当今世界较好的防潮、防霉（零级）、防腐、防盐雾的特殊防护涂层，聚对二甲苯，或派瑞林堤对一系列独  特的高聚物的一个通常的称呼。这个家庭中基本的成员称作Parylene,即聚对二甲苯，是一种完全线性的高度结晶结构的材料。

1998年中科院光机所在西安进口了中国di 一台parylene涂敷机，开始了对Parylene这项新兴技术的研究发展，2001年，2006年苏州凯瑞的前身拉奇公司在江苏吴江成立专业的parylene涂覆公司，随着技术的交流和发展，中国的parylene技术日新月异的蓬勃发展。